Rapidus: запуск пилотной линии 2 нм в апреле

1 апреля 2025, 15:00 / Технологии → Новости / Технологии

Корпорация Rapidus

сегодня объявила, что ее планы и бюджет на 2025 финансовый год были одобрены Японской организацией по развитию новых энергетических и промышленных технологий (NEDO). Одобрение охватывает два заказанных проекта в рамках проекта NEDO «Проект НИОКР по улучшению инфраструктуры информационных и коммуникационных систем после 5G/Разработка передовой технологии производства полупроводников (заказано)». Это проекты «Исследования и разработки технологии интеграции полупроводников поколения 2 нм и технологии производства с коротким TAT (время оборота) на основе сотрудничества Японии и США» и «Разработка чиплетов, дизайна корпусов и технологии производства для полупроводников поколения 2 нм».

Первый из этих проектов, ориентированный на фронтальные процессы, был запущен в ноябре 2022 года в рамках японских НИОКР по полупроводникам следующего поколения. В рамках этой программы Rapidus продолжила строительство объекта Innovative Integration for Manufacturing (IIM) в Титосэ, Хоккайдо, который будет служить ее производственной базой. Компания также направила инженеров в IBM

Thumbnail: IBM IBM (произносится ай-би-эм; [aɪbiːˈɛm]; аббр. от англ. International Business Machines) — американская компания со штаб-квартирой в Армонке (штат Нью-Йорк), один из крупнейших в мире производителей и поставщиков аппаратного и программного обеспечения, а также IT-сервисов и консалтинговых услуг. Распространённое прозвище компании — Big Blue, что можно перевести с английского как «большой синий» или «голубой гигант». Википедия

в США для совместной разработки технологий массового производства 2 нм логических полупроводников и продолжила достигать целевых показателей производительности, как и планировалось. Кроме того, Rapidus установила EUV-литографию и другое производственное оборудование на объекте IIM и начала работу в чистом помещении. В результате этих усилий компания достигла своих целевых показателей производительности на 2024 финансовый год.

Второй проект, ориентированный на бэкэнд-процессы, был запущен в марте 2024 года. Его цель — обеспечить разработку более крупных и энергоэффективных корпусов чиплетов, использующих полупроводники поколения 2 нм. Для достижения этой цели проект создает комплекты для проектирования и технологии тестирования чиплетов, необходимые для массового производства и проектирования корпусов.

Rapidus продвигает эту инициативу в международном сотрудничестве с IBM (США), Fraunhofer (Германия) и A*STAR IME (Сингапур). В результате этого сотрудничества определение основного технологического процесса и выбор оборудования были завершены в 2024 финансовом году. Также было принято решение о создании новой базы НИОКР — Rapidus Chiplet Solutions (RCS) — на заводе Seiko Epson Corporation в Титосе, который находится рядом с IIM. Подготовка к RCS ведется с октября 2024 года.

После утверждения плана и бюджета на этот год пилотная линия будет запущена в апреле с производственным оборудованием, установленным в зоне передового процесса. Rapidus разработает прототип 2 нм Gate-All-Around (GAA) транзисторов на 300 мм пластинах. Компания также выпустит комплект Process Design Kit (PDK) для первых клиентов и подготовит среду, в которой клиенты смогут начать прототипирование.

Что касается внутренних процессов, в апреле Rapidus начнет установку производственного оборудования на RCS. На объекте будет разработана пилотная линия для внедрения методов массового производства. Rapidus также будет работать над:

Технология промежуточного слоя перераспределения (RDL)
Технологии 3D-упаковки
Комплекты для проектирования сборок (ADK) для расширенных внутренних процессов
Методы контроля качества, включая процесс тестирования заведомо годных штампов (KGD)

Комментарий доктора Ацуёси Коикэ, уполномоченного директора и генерального директора Rapidus Corporation:

«Строительство производственного объекта IIM в Rapidus продвигалось гладко, и к концу прошлого финансового года мы завершили установку оборудования для производства полупроводников, необходимого для начала пилотных операций. Мы хотели бы воспользоваться этой возможностью, чтобы выразить нашу искреннюю благодарность Министерству экономики, торговли и промышленности (METI), NEDO, Хоккайдо, городу Титосэ и всем остальным за их щедрое сотрудничество. После одобрения плана и бюджета проекта NEDO мы запустим пилотную линию в апреле, что неуклонно приведет к началу массового производства, намеченному на 2027 год».

Источник: Rapidus