Lam Research представляет Dextro — робота для обслуживания фабрик

На типичных заводах по производству пластин используются сотни инструментов, которые требуют регулярного сложного технического обслуживания. Точность в обслуживании инструмента имеет важное значение, поскольку точная сборка подсистем напрямую влияет на производительность. Однако люди не так точны, как машины, но до недавнего времени они были единственным вариантом.

Dextro - это мобильная роботизированная установка с манипулятором, оснащенным сменными конечными устройствами для выполнения трех ключевых задач по техническому обслуживанию. Cobot может устанавливать расходные компоненты с точностью, в два раза превышающей точность ручной установки, обеспечивая правильную сборку и улучшенную производительность травления на кромке пластины. Он также позволяет затягивать высокоточные вакуумные уплотнительные болты в точном соответствии с техническими требованиями, снижая на 5% частоту ручных ошибок и предотвращая температурные отклонения, которые могут нарушить производство.

Наконец, Dextro может безопасно удалять полимерные наросты со стенок камеры, не требуя разборки, что избавляет инженеров-людей от необходимости использовать тяжелое защитное дыхательное снаряжение. Следует отметить, что Dextro не заменяет техников-людей, которые по-прежнему управляют установкой, а, скорее, улучшает их работу.

В настоящее время Dextro совместим с диэлектрическими травильными инструментами Lam серий Flex G и H. К 2025 году планируется расширить его совместимость с другими инструментами, что позволит шире использовать его в полупроводниковой промышленности.

В настоящее время Dextro работает на нескольких передовых полупроводниковых заводах по всему миру, обеспечивая улучшенные результаты «с первого раза» (FTR) и сокращая количество ошибок при техническом обслуживании. Ключевая цель cobot от Lam - выполнять высокоточные задачи по техническому обслуживанию с исключительной точностью и повторяемостью. Сложные операции по техническому обслуживанию, как правило, сопряжены с ошибками и трудоемки при выполнении вручную, поэтому использование cobot fabs действительно может повысить урожайность.

Кроме того, автоматизируя повторяющиеся и сложные задачи, Dextro решает важнейшие отраслевые проблемы, такие как нехватка квалифицированных инженеров и растущая сложность современного оборудования для производства пластин.

Наконец, обеспечивая повторяемость технического обслуживания, Dextro может значительно сократить количество отходов, расходных материалов и времени, потерянного из-за перерывов в производстве, что увеличивает время безотказной работы инструмента, что является важным показателем для производителей микросхем.

Источник: Tomshardware.com