Lam Research представляет Dextro — робота для обслуживания фабрик
Техническое обслуживание и ремонт (ТОиР) — комплекс технологических операций и организационных действий по поддержанию работоспособности или исправности объекта при использовании по назначению, ожидании, хранении и транспортировании (техническое обслуживание), а также по восстановлению работоспособности, исправности и ресурса объекта и/или его составных частей (ремонт).
Работы ТОиР могут быть как плановыми (регламентированными), так и неплановыми (в связи с отказами и повреждениями). Википедия
На типичных заводах по производству пластин используются сотни инструментов, которые требуют регулярного сложного технического обслуживания. Точность в обслуживании инструмента имеет важное значение, поскольку точная сборка подсистем напрямую влияет на производительность. Однако люди не так точны, как машины, но до недавнего времени они были единственным вариантом.
Dextro - это мобильная роботизированная установка с манипулятором, оснащенным сменными конечными устройствами для выполнения трех ключевых задач по техническому обслуживанию. Cobot может устанавливать расходные компоненты с точностью, в два раза превышающей точность ручной установки, обеспечивая правильную сборку и улучшенную производительность травления на кромке пластины. Он также позволяет затягивать высокоточные вакуумные уплотнительные болты в точном соответствии с техническими требованиями, снижая на 5% частоту ручных ошибок и предотвращая температурные отклонения, которые могут нарушить производство.
Наконец, Dextro может безопасно удалять полимерные наросты со стенок камеры, не требуя разборки, что избавляет инженеров-людей от необходимости использовать тяжелое защитное дыхательное снаряжение. Следует отметить, что Dextro не заменяет техников-людей, которые по-прежнему управляют установкой, а, скорее, улучшает их работу.
В настоящее время Dextro совместим с диэлектрическими травильными инструментами Lam серий Flex G и H. К 2025 году планируется расширить его совместимость с другими инструментами, что позволит шире использовать его в полупроводниковой промышленности.
В настоящее время Dextro работает на нескольких передовых полупроводниковых заводах по всему миру, обеспечивая улучшенные результаты «с первого раза» (FTR) и сокращая количество ошибок при техническом обслуживании. Ключевая цель cobot от Lam - выполнять высокоточные задачи по техническому обслуживанию с исключительной точностью и повторяемостью. Сложные операции по техническому обслуживанию, как правило, сопряжены с ошибками и трудоемки при выполнении вручную, поэтому использование cobot fabs действительно может повысить урожайность.
Кроме того, автоматизируя повторяющиеся и сложные задачи, Dextro решает важнейшие отраслевые проблемы, такие как нехватка квалифицированных инженеров и растущая сложность современного оборудования для производства пластин.
Наконец, обеспечивая повторяемость технического обслуживания, Dextro может значительно сократить количество отходов, расходных материалов и времени, потерянного из-за перерывов в производстве, что увеличивает время безотказной работы инструмента, что является важным показателем для производителей микросхем.
Samsung Group (произносится «Сáмсунг Груп», кор. 삼성그룹, Samseong Gurub, Samsŏng Gurup) — южнокорейская группа компаний, один из крупнейших чеболей, основанный в 1938 году. На мировом рынке известен как производитель высокотехнологичных компонентов, телекоммуникационного оборудования, бытовой техники, аудио- и видеоустройств. Главный офис компании расположен в Сеуле. Википедия
Читайте также:Samsung анонсирует 10-е поколение V-NANDИнвестиции в стартап Tenstorrent: борьба с NvidiaSamsung и SK hynix расскажут о GDDR7 со скоростью передачи данных до 42,5 ГТ/сПерестановки в полупроводниковом подразделении SamsungAMD получила патент на стеклянную подложку
Источник: Tomshardware.com
0 комментариев