Nikon решила бросить вызов ASML, начав ценовую войну на рынке DUV-сканеров

Японский производитель литографического оборудования Nikon намерен бросить вызов доминированию нидерландской ASML на рынке DUV-сканеров. Компания планирует использовать ценовую стратегию для привлечения заказчиков, предлагая значительные скидки на свои ArF-системы.

Генеральный директор Nikon Ясухиро Омура в недавнем интервью заявил, что компания пытается получить новые заказы на ArF-сканеры, предлагая цены ниже, чем у ASML. У Nikon есть возможность конкурировать по стоимости, так как компания самостоятельно производит многие ключевые компоненты, включая оптические системы.

В настоящее время Nikon ведет переговоры с крупными производителями чипов в Азии и Америке и, по словам Омуры, уже близок к заключению контрактов. ArF-сканеры (с длиной волны 193 нм) являются важным сегментом рынка DUV-оборудования. Они бывают двух типов: сухие (dry) и иммерсионные (immersion), причем последние считаются более технологичными. Флагманские модели ASML, такие как 1980i и 2000i, относятся именно к этому классу, и они же в последние годы активно закупались китайскими компаниями.

Технология ArF в сочетании с мультипаттернингом позволяет производить чипы по 7-нм техпроцессу. Даже с повсеместным внедрением EUV-литографии, ArF-сканеры остаются востребованными, так как использование EUV для всех слоев кристалла было бы экономически нецелесообразным.

Компании Canon и Nikon некогда были лидерами рынка литографического оборудования, опережая ASML. Например, в прошлом Intel активно закупала сканеры Nikon, и их доля в парке оборудования американского гиганта достигала 80%. Однако, по иронии судьбы, именно чрезмерная зависимость от японских DUV-систем могла стать одной из причин, по которой Intel упустила момент перехода на EUV-литографию, что в итоге привело к ее технологическому отставанию от TSMC за последнее десятилетие.

Тем не менее, ArF-сканеры Nikon по-прежнему обладают сильными сторонами, в частности, отличной равномерностью критических размеров (CD uniformity) благодаря собственным разработкам в области оптики. Предлагая скидки в 20-30%, Nikon рассчитывает, что их оборудование станет привлекательным бюджетным дополнением к более дорогим сканерам ASML для многих фабрик.