Корейский эксперт сомневается в возможности самостоятельной разработки EUV-литографа за 10 лет

EUV-литограф — это ключевое оборудование для создания чипов по техпроцессам 5 нм и тоньше. В настоящее время единственной компанией в мире, способной производить такие машины, является ASML, чья разработка объединила технологии США, Европы и ряда азиатских стран.

Из-за известных ограничений одна из стран вынуждена разрабатывать собственный EUV-литограф, что является чрезвычайно сложной задачей. Литографическое оборудование часто называют «жемчужиной в короне промышленности», а сложность EUV-систем на один-два порядка выше, чем у обычных DUV-литографов, и их стоимость обычно составляет от 2 до 4 миллиардов долларов (от ~160 до ~320 миллиардов рублей).

Комментируя эти усилия, южнокорейские СМИ со ссылкой на профессора материаловедения Университета Ханян Ан Чжин Хо (Ahn Jin-ho) выразили скептицизм. По его мнению, разработка EUV-литографа, пригодного для массового производства чипов, в течение 10 лет маловероятна.

Ан Чжин Хо, недавний лауреат премии Корейской инженерной академии и опытный профессор в технической сфере, также усомнился в заявлениях о возможности поставок серийных EUV-машин к 2028 году.

Он отметил, что даже такой отраслевой гигант, как Nikon, обладающий многолетним опытом в литографии, так и не смог совершить прорыв в EUV-технологии, которая не поддаётся простому «силовому» решению.

Профессор добавил, что сама ASML потратила десятилетия на разработку EUV-технологии, полагаясь на тесно скоординированную экосистему, включающую прецизионную оптику Carl Zeiss и технологии специализированных источников света.

Примечание редакции: Ожидалось, что профессор выскажет глубокие суждения, однако его аргументация на удивление поверхностна. В качестве доказательства он приводит неудачу Nikon с EUV и необходимость глобальной кооперации. Хотя эти факты сами по себе верны, они не являются логическим доказательством невозможности. То, что не удалось Nikon, не означает, что не удастся другим. Исследовательские институты и глубина сотрудничества внутри упомянутой страны вполне сопоставимы с международным консорциумом, создававшим EUV.

Очевидно, профессор не знаком с конкретными исследованиями и прогрессом в области EUV в этой стране. Его интервью корейским СМИ оказалось набором общих фраз. Ожидались веские аргументы от资深 инженера, но вместо этого прозвучали довольно упрощённые заявления.