Японские гиганты инвестируют миллиарды в расширение производства EUV-фоторезистов для 2-нм чипов

Технология EUV (экстремального ультрафиолета) стала обязательным этапом для производства чипов после 5-нм техпроцесса. Хотя оборудование для EUV-литографии производит только голландская ASML, Япония сохраняет сильные позиции в области EUV-фоторезистов. Три крупнейших японских химических концерна активно наращивают мощности, ориентируясь на перспективные нормы 2 нм и менее.

Японский производитель материалов для полупроводниковой промышленности Tokyo Ohka Kogyo объявил о инвестициях в размере 200 млрд иен (около 1,3 млрд долларов) в строительство завода по производству фоторезистов в Пхёнтхэке, Южная Корея. Завод планируется ввести в эксплуатацию к 2030 году.

Пхёнтхэк является важной производственной базой для южнокорейских полупроводниковых компаний, таких как Samsung и SK Hynix. После запуска нового предприятия производственные мощности Tokyo Ohka Kogyo в Южной Корее увеличатся в три-четыре раза, что позволит лучше удовлетворять потребности клиентов.

Кроме того, компания инвестирует еще 120 млрд иен в строительство завода по производству высокочистых химикатов в Южной Корее, который также будет обслуживать передовые полупроводниковые процессы. Эти шаги расцениваются как активная подготовка японских производителей к переходу на 2-нм и более совершенные техпроцессы.

Другой гигант в области EUV-фоторезистов, компания JSR, также планирует построить в Южной Корее завод по производству MOR-фоторезистов, который должен выйти на серийное производство уже в конце следующего года.

Еще одна компания с вековой историей, Adeka, инвестирует 3,2 млрд иен в расширение производства в Японии, построив завод MOR-фоторезистов, запуск которого намечен на апрель 2028 года.

MOR-фоторезисты на основе оксидов металлов были разработаны специально для EUV-литографии. Активные работы по созданию исследовательских и производственных линий для MOR-фоторезистов ведутся и в других странах.

При этом японские компании традиционно доминируют на рынке полупроводниковых материалов, особенно фоторезистов, контролируя более 91% мирового рынка. Хотя в самой Японии пока нет фабрик по производству чипов по 2-нм техпроцессу, активная экспансия на зарубежные рынки демонстрирует их уверенность в успехе на переднем крае полупроводниковых технологий.