Новая технология e-Beam-инспекции на основе GaN от стартапа PeS и Университета Нагои будет протестирована Kioxia

Сегодня было объявлено, что технология e-Beam-инспекции и метрологии на основе нитрида галлия (GaN) для передового производства полупроводников, совместно разработанная стартапом Университета Нагои Photo electron Soul Inc. (PeS; генеральный директор: Такаюки Судзуки) и лабораторией Амано-Хонда при том же университете, будет протестирована компанией Kioxia Iwate Corporation (президент и генеральный директор: Коитиро Сибаяма) в конце сентября. В ходе критических полевых испытаний Kioxia Iwate оценит и проверит преимущества внедрения этой передовой технологии для повышения общего выхода годной продукции за счёт улучшения обнаружения дефектов и анализа первопричин в процессах живой инспекции и метрологии.

3D-флеш-память — это сложное устройство, характеризующееся многослойной структурой ячеек памяти. Kioxia разрабатывает передовые методы инспекции и метрологии, которые решают производственные проблемы, вызванные увеличением количества слоёв и более высокой интеграцией. Две ключевые технологии (e-Beam-инспекция и метрология на основе фотокатода), оцениваемые Kioxia, обеспечивают критические функции, такие как бесконтактная электрическая инспекция, обнаружение дефектов и измерение профиля в глубоких областях структур с высоким соотношением сторон, что трудно достичь традиционными методами. Эти функции уникальны для GaN-технологии e-Beam на основе фотокатода, включая DSeB (Digital Selective e-Beaming) и YCeB (Yield Controlled e-Beaming). Они позволяют проводить инновационную инспекцию и метрологию за счёт селективного облучения e-Beam и управления интенсивностью луча в реальном времени, предотвращая любое смещение луча.

«Эта оценка предоставляет нам прекрасную возможность доказать, что наша технология инспекции и метрологии не имеет аналогов. Ни один другой поставщик инструментов инспекции ещё не коммерциализировал её, и она готова к использованию в производственной среде полупроводников», — заявил Такаюки Судзуки, генеральный директор PeS. «Мы уверены, что это станет ключевой технологией для Kioxia, позволив им значительно улучшить свои передовые возможности инспекции и метрологии и превзойти конкурентов — производителей NAND-флеш памяти в Корее и США».

Источник: Techpowerup.com