ASML раскрывает планы по литографии в экстремальном ультрафиолете следующего поколения «Hyper-NA»

ASML

Thumbnail: ASMLASML — нидерландская компания, крупнейший производитель литографического оборудования для микроэлектронной промышленности, необходимого в том числе для изготовления СБИС, микросхем памяти, флеш-памяти, микропроцессоров. Центральный офис — в Велдховене (европейский технологический регион Brainport Eindhoven), там же находятся исследовательские и производственные отделы, в местах установки оборудования действует более 60 центров обслуживания в 16 странах. Компания, изначально называвшаяся ASM Lithography, была основана в 1984 году как совместное предприятие компаний Advanced Semiconductor Materials International (ASMI) и Philips. Впоследствии у Philips осталась только небольшая часть акций ASML. C рыночной капитализацией в $350 млрд (на осень 2021 года) компания входит в верхнюю часть индекса Nasdaq-100. Википедия

Читайте также:В нидерландском Велдховене откроется лаборатория ASMLASML устанавливает новый рекорд плотности производства микросхем и предлагает инструменты Hyper-NAIntel рискует понести большие убытки, сделав ставку на новое оборудование ASMLASML готова вывести из строя своё передовое оборудование на Тайване в случае вторжения КитаяImec создаст экспериментальную линию для разработки техпроцессов менее 2 нм

, единственный в мире поставщик систем литографии в крайнем ультрафиолете (EUV), необходимых для производства самых передовых чипов, обнародовал свою дорожную карту для дальнейшего продвижения масштабирования полупроводников. В недавней презентации бывший президент ASML Мартин ван ден Бринк объявил о планах компании по созданию новой технологии EUV «Hyper-NA», которая придет на смену системам EUV High-NA, которые только начинают внедряться. Инструменты Hyper-NA, которые все еще находятся на ранних стадиях исследований, позволят увеличить числовую апертуру до 0,75 с 0,55 High-NA, что позволит создавать чипы с плотностью транзисторов, превышающей прогнозируемые пределы High-NA в начале 2030-х годов. Эта более высокая числовая апертура должна уменьшить зависимость от методов с несколькими шаблонами, которые увеличивают сложность и стоимость.

Hyper-NA сам по себе создает проблемы для коммерциализации. К основным препятствиям относятся эффекты поляризации света, которые ухудшают контрастность изображения и требуют поляризационных фильтров, которые уменьшают пропускную способность света. Материалы резиста, возможно, также должны стать тоньше, чтобы сохранить разрешение. В то время как ведущие производители микросхем EUV, такие как TSMC, вероятно, смогут расширить масштабирование еще на несколько узлов, используя многошаблонирование с помощью существующих инструментов EUV 0,33 NA, Intel внедрила 0,55 High-NA, чтобы избежать этих сложностей. Но Hyper-NA, вероятно, станет незаменимым во всей отрасли в конце этого десятилетия, когда будут достигнуты физические пределы High-NA. Помимо Hyper-NA, существует несколько альтернативных решений для создания рисунка, кроме дорогой многолучевой электронной литографии, которой не хватает производительности EUV-фотолитографии. Чтобы продолжить классическое масштабирование, отрасли, возможно, придется в конечном итоге перейти к новым материалам каналов с превосходными свойствами подвижности электронов по сравнению с кремнием, что потребует новых возможностей осаждения и травления.

Источник: Techpowerup.com

Подписаться на обновления Новости / Технологии

0 комментариев

Оставить комментарий


Новые комментарии

1c пох на ваши операции, количество ядер и прочее. Умудрились написать ядро четко привязанное к Мгц. Единственный в мире продукт для 1го ядра.
  • Анон
Указан неверный диаметр вентиляторов, не 80 мм, а 100 мм. И чип не 103, а 102.
  • Анон
С прошлым обновлением как раз и появилась эта ошибка. А новое как и написано не дают скачать.
  • Анон
При включении 3D Turbo Mode у вас максимум будет доступно 8 ядер и 8 потоков всего. т.е. если у вас 16 ядерный на 32 потока то будет всего 8 ядер и 8 потоков! Странная оптимизация!
  • Анон
После скачивания вышел синий экран СУПЕР!
  • Анон
требуется указать магазин и purchase date без этого не регистрирует
  • Анон
Россия на них клала❤❤❤❤, будет называться Ладушка 2.0 )))
  • Анон
ДА у меня тоже неработает уже все Вы не знаете каким способом вернуть все обратно СПАСИ
  • Анон
Хаетв Рустам Базарвич Хаетв
  • Анон
Очень довольна приложением. Пользуюсь сама и рекомендую другим.

Смотреть все