ASML представила машину для производства чипов по технологиям 2-нм и новее
ASML — нидерландская компания, крупнейший производитель литографического оборудования для микроэлектронной промышленности, необходимого в том числе для изготовления СБИС, микросхем памяти, флеш-памяти, микропроцессоров. Центральный офис — в Велдховене (европейский технологический регион Brainport Eindhoven), там же находятся исследовательские и производственные отделы, в местах установки оборудования действует более 60 центров обслуживания в 16 странах. Компания, изначально называвшаяся ASM Lithography, была основана в 1984 году как совместное предприятие компаний Advanced Semiconductor Materials International (ASMI) и Philips. Впоследствии у Philips осталась только небольшая часть акций ASML. C рыночной капитализацией в $350 млрд (на осень 2021 года) компания входит в верхнюю часть индекса Nasdaq-100. Википедия
Читайте также:ASML продемонстрировала свою новейшую 165-тонную машину для производства чипов
ASML Twinscan NXE:3800E представляет собой шаг вперед в области EUV-литографии с низкой числовой апертурой в отношении производительности (количества пластин, обрабатываемых в час) и соответствующего обработанного наложения. Новая система может обрабатывать более 195 пластин в час при дозе 30 мДж/см^2 и обещает дальнейшее увеличение производительности до 220 пластин в час при увеличении пропускной способности. Кроме того, новый инструмент обеспечивает машинное наложение с точностью менее 1,1 нм (точность выравнивания пластин).
«Производителям чипов нужна скорость», — говорится в заявлении ASML, опубликованном на X. «Первый Twinscan NXE:3800E сейчас устанавливается на заводе по производству микросхем. Благодаря новым этапам изготовления пластин система обеспечит высочайшую производительность при печати современных чипов. Мы выдвигаем литографию на новый уровень».
Техноло́гия (от др.-греч. τέχνη «искусство, мастерство, умение» + λόγος «слово; мысль, смысл, понятие») — совокупность методов и инструментов для достижения желаемого результата; в широком смысле — применение научного знания для решения практических задач. Технология включает в себя способы работы, её режим, последовательность действий. Технология является сравнительно новым, многогранным термином, точное определение которого ускользает из-за постоянного развития смысла этого понятия, как самого по себе, так и взятого в отношениях с другими, такими же широкими понятиями: культура, общество, политика, религия, природа. Википедия
Кроме того, повышенная производительность Twinscan NXE:3800E будет особенно полезна для изготовления чипов по 2-нм техпроцессу и последующим классам производственных технологий, для которых потребуется двойное нанесение EUV-рисунка. Улучшения в наложении согласованных машин принесут пользу производственным узлам класса менее 3 нм.
Однако сложность и возможности таких машин, как NXE:3800E, обходятся дорого — а точнее около 180 миллионов долларов за каждую. Столь высокие затраты означают, что потребуется некоторое время, чтобы окупить стоимость этих инструментов для литографии. Однако для клиентов ASML, в состав которых входит избранная группа крупных компаний-производителей чипов, NXE:3800E предлагает путь к расширению их возможностей по производству передовых микросхем. Это имеет решающее значение для этих компаний, поскольку они стремятся удовлетворить растущий мировой спрос на полупроводники и расширить свои производственные мощности. Внедрение более совершенных и эффективных сканеров EUV, таких как NXE:3800E, имеет решающее значение для достижения этих целей.
Заглядывая в будущее, ASML не почивает на лаврах и планирует дальнейшие инновации в виде Twinscan NXE:4000F — еще одного поколения EUV-сканера Low-NA, выпуск которого намечен на 2026 год.
0 комментариев