Компании IBM и Lam Research объявили о пятилетнем сотрудничестве, направленном на разработку материалов и производственных процессов, необходимых для масштабирования логических чипов за пределы 1 нм. В основе проекта лежит использование литографии High NA EUV и сухой резист-технологии Aether от Lam.
Читать дальше →
