Технология EUV (экстремального ультрафиолета) стала обязательным этапом для производства чипов после 5-нм техпроцесса. Хотя оборудование для EUV-литографии производит только голландская ASML, Япония сохраняет сильные позиции в области EUV-фоторезистов. Три крупнейших японских химических концерна
Читать дальше →