Samsung Foundry инвестирует $773 млн в передовые литографы ASML

Подразделение Samsung Foundry совершило крупное приобретение, заказав два литографических сканера ASML Twinscan EXE:5200B с технологией High-NA EUV. Общая стоимость сделки составляет 773 миллиона долларов (~62 миллиарда рублей).

Каждая из этих передовых систем способна обрабатывать более 175 пластин в час и, в оптимальных условиях, десятки тысяч 300-миллиметровых пластин ежемесячно. Samsung планирует установить первый сканер High-NA EUV уже в этом году, вероятно, в ближайшие недели, а вторую машину — в начале 2026 года.

Оборудование ASML позволяет создавать транзисторы размером всего 8 нм, что значительно меньше современных «2-нм» техпроцессов, у которых шаг затвора превышает 40 нм, а шаг металлизации составляет 20 нм. Фактический размер транзисторов часто отличается от номинального названия технологического узла.

Samsung Foundry будет использовать эти передовые сканеры в первую очередь для производства логических микросхем и статической памяти SRAM, а выпуск DRAM с технологией High-NA ожидается позже.

ASML прогнозирует, что к 2027 году поставит 56 сканеров Low-NA EUV на основе текущих заказов: пять единиц для Intel, семь для Samsung и до 20 для SK Hynix. Южнокорейские СМИ сообщают, что SK Hynix планирует установить 20 систем Low-NA EUV в течение следующих двух лет для производства памяти HBM и передовых решений для хранения данных.

Что касается High-NA, ASML намерена поставить 10 сканеров High-NA EUV к 2027 году, каждый стоимостью около 380 миллионов долларов (~30 миллиардов рублей). Intel будет использовать их для производства по техпроцессу 14A, а SK Hynix, как ожидается, получит две системы для своих операций с памятью.

Intel уже сообщала об обработке более 30 000 пластин за один квартал с использованием High-NA EUV, что позволило упростить производство, сократив количество необходимых шагов для определенного слоя с 40 до менее 10 и ускорив цикл производства. Аналогичным образом Samsung задокументировала сокращение цикла на 60% для одного из своих конкретных применений, демонстрируя впечатляющие результаты.

Источник: KED Global