SiCarrier: полный цикл производства кремния

26 марта 2025, 18:54 / Технологии → Новости / Технологии

SiCarrier, китайский производитель полупроводниковых инструментов, поддерживаемый Huawei

Thumbnail: Huawei Huawei Technologies Co. Ltd. (кит. трад. Википедия

, представил комплексный набор инструментов для производства полупроводников на выставке Semicon China в этом году. Эти инструменты стратегически важны для самодостаточности Китая в области полупроводников и являются важным шагом на пути к конкурентоспособным узлам с материка. Новая линейка охватывает несколько категорий: оптический контроль, осаждение, травление, метрология и тестирование электрических характеристик. До сих пор китайские производители микросхем часто зависели от зарубежного оборудования старого поколения, но новая линейка SiCarrier обещает отечественные альтернативы, адаптированные к современным производственным процессам. Инструменты охватывают каждый этап изготовления полупроводников, от проверки микроскопических дефектов до травления сложных схем.

Для контроля качества серия Color Mountain от SiCarrier функционирует как мощный микроскоп, используя интенсивное освещение и передовые алгоритмы визуализации для проверки обеих сторон кремниевых пластин на наличие дефектов размером с частицы пыли. Дополняя это, серия Sky Mountain обеспечивает идеальное выравнивание слоев схемы, которые требуют идеальной укладки, используя измерения на основе дифракции (анализ световых узоров) и прямое сравнение изображений. Набор New Mountain объединяет специализированные инструменты для анализа материалов на атомном уровне. Одним из выдающихся является атомно-силовой микроскоп (АСМ), который отображает топографию поверхности с помощью наноразмерного «пальца», в то время как рентгеновские методы (XPS, XRD, XRF) действуют как инструменты судебной экспертизы, выявляя химический состав, кристаллическую структуру и элементный состав.

Эти фотографии не являются полным каталогом, а лишь несколькими случайными инструментами.
Для нанесения сверхтонких пленок — распыляемых слоев изоляции или металла — инструменты Changbaishan и Alishan от SiCarrier используют точный поток газа, быстрый контроль температуры и точность на атомном уровне для равномерного покрытия пластин, даже в сложных трехмерных структурах. Травление, процесс фактической вырезки наномасштабных схем в пластинах, выполняется серией Wuyishan. Эти инструменты используют заряженный газ (плазму) и регулируемые энергетические поля для скульптурирования материалов с точностью микроскопического лазерного гравера.

Между тем, системы быстрой термической обработки (RTP) Sangqingshan действуют как высокотехнологичные печи, используя скачки температуры за доли секунды для точной настройки свойств материала без деформации деликатных пластин. Наконец, испытательные платформы SiCarrier, включая системы RATE и XRF, имитируют экстремальные условия эксплуатации, такие как высокое напряжение и ток, чтобы отсеять дефекты до того, как чипы попадут к потребителям. Представьте себе это как краш-тест автомобиля, но для электроники. Huawei уже участвовала в разработке сканеров EUV, поэтому это кажется идеальным дополнением ко всему производственному процессу.

Источник: Core Viewpoint (Chinese)