Китайская компания разрабатывает литографическую машину для производства чипов

/ ТехнологииНовости / Технологии

Правительство Китая продвигает две новые литографические машины, чтобы снизить зависимость от иностранных инструментов для производства чипов на фоне санкций США, сообщает South China Morning Post. Хотя эти машины демонстрируют заметные технологические усовершенствования, они все еще отстают от лидеров отрасли, таких как ASML

Thumbnail: ASMLASML — нидерландская компания, крупнейший производитель литографического оборудования для микроэлектронной промышленности, необходимого в том числе для изготовления СБИС, микросхем памяти, флеш-памяти, микропроцессоров. Центральный офис — в Велдховене (европейский технологический регион Brainport Eindhoven), там же находятся исследовательские и производственные отделы, в местах установки оборудования действует более 60 центров обслуживания в 16 странах. Компания, изначально называвшаяся ASM Lithography, была основана в 1984 году как совместное предприятие компаний Advanced Semiconductor Materials International (ASMI) и Philips. Впоследствии у Philips осталась только небольшая часть акций ASML. C рыночной капитализацией в $350 млрд (на осень 2021 года) компания входит в верхнюю часть индекса Nasdaq-100. Википедия

Читайте также:SMEE запатентовала инструмент для производства чипов EUVПравительство Нидерландов восстанавливает экспортный контроль над фабричными инструментами ASMLСША разрешили экспорт оборудования в КитайASML: продажи и чистая прибыль во II квартале 2024 годаПродолжительность чиповой войны США и Китая

и Nikon.

Две машины представляют собой устройства глубокой ультрафиолетовой (DUV) литографии с использованием лазеров на фториде аргона. Одна работает на длине волны 193 нм, обеспечивая разрешение ниже 65 нм и точность наложения менее 8 нм. Другая работает на длине волны 248 нм, с разрешением 110 нм и точностью наложения 25 нм.

Лучший китайский литографический инструмент, который в настоящее время производится в больших объемах компанией Shanghai Microelectronics Equipment (SMEE) — SSX600 — может производить чипы по 90-нм техпроцессу. Таким образом, один из новых инструментов DUV лучше, чем SSX600, а другой хуже, чем SSX600. Однако они значительно отстают от NXT:1980Fi от ASML и NSR-S636E от Nikon. Наименее продвинутая машина DUV от ASML, которая в настоящее время производится, имеет разрешение ниже 38 нм и точность наложения всего 1,3 нм. Самый продвинутый инструмент Nikon также имеет разрешение 38 нм и производительность наложения 2,1 нм.

Ячейка заголовка - Столбец 0 NXT:1980Fi NSR-S636E Инструмент для литографии 1 Инструмент для литографии 2
Источник света АрФ 193нм АрФ 193нм АрФ 193нм ArF 248 нм
Разрешение 38 нм 38 нм 65 нм 110 нм
Проекционная оптика 1.35 НД 1.35 НД ? ?
Вафли в час 330 280 ? ?
Наложение производительности 1.3 нм 2.1нм 8 нм 25 нм

Новые системы представляют собой прорыв в отечественных усилиях по производству чипов в Китае, но машины пока не поступили в продажу. Министерство промышленности и информационных технологий (MIIT) подчеркнуло эти достижения, но не раскрыло компании, ответственные за машины.

Китай давно стремится сократить свою зависимость от иностранных поставщиков, особенно в области критических полупроводниковых технологий, но он по-прежнему сильно зависит от машин ASML. Однако ASML должна получить экспортную лицензию от голландского правительства для продажи своих передовых инструментов DUV, что по сути означает, что китайские предприятия не могут получить эти машины.

SMEE, государственная компания, рассматривается как лучший шанс Китая разработать внутренние литографические системы. Однако SMEE значительно отстает от ASML и других мировых конкурентов. В прошлом году SMEE продемонстрировала литографический инструмент, способный производить чипы с использованием 28-нм техпроцессов. Однако компании еще предстоит начать массовое производство этой системы.

Несмотря на эти проблемы, SMEE добилась успехов. В марте 2023 года компания подала патент на технологию EUV-литографии. Эта разработка демонстрирует определенный прогресс, несмотря на препятствия, вызванные международными санкциями и торговыми ограничениями.

Источник: Tomshardware.com

Подписаться на обновления Новости / Технологии

0 комментариев

Оставить комментарий


Новые комментарии

Указан неверный диаметр вентиляторов, не 80 мм, а 100 мм. И чип не 103, а 102.
  • Анон
С прошлым обновлением как раз и появилась эта ошибка. А новое как и написано не дают скачать.
  • Анон
При включении 3D Turbo Mode у вас максимум будет доступно 8 ядер и 8 потоков всего. т.е. если у вас 16 ядерный на 32 потока то будет всего 8 ядер и 8 потоков! Странная оптимизация!
  • Анон
После скачивания вышел синий экран СУПЕР!
  • Анон
требуется указать магазин и purchase date без этого не регистрирует
  • Анон
Россия на них клала❤❤❤❤, будет называться Ладушка 2.0 )))
  • Анон
ДА у меня тоже неработает уже все Вы не знаете каким способом вернуть все обратно СПАСИ
  • Анон
Хаетв Рустам Базарвич Хаетв
  • Анон
Очень довольна приложением. Пользуюсь сама и рекомендую другим.
16 способ - Ноутбук HP ProBook 4740s автоматически установлена камера HP HD Webcam [Fixed] при этом онлайн из браузера подключается камера к веб страницам, камера работает. С приложениями камера...
  • Анон

Смотреть все