SMIC закупила 800 отечественных установок травления для 3-нм техпроцесса: китайское оборудование выходит на мировой уровень

В эфире программы «Диалог» на CCTV财经 обсуждался прорыв китайской полупроводниковой индустрии. «Отец китайских установок травления» Инь Чжияо и основатель SMIC Чжан Жуцзин рассказали о пути создания отечественного оборудования с нуля. Чжан Жуцзин сообщил, что SMIC уже закупила у AMEC (中微半导体) не менее 800 установок травления.

Инь Чжияо, в возрасте 60 лет отказавшийся от годового дохода в миллион долларов в США и вернувшийся на родину, проработал более 20 лет в таких мировых гигантах полупроводникового оборудования, как Lam Research и Applied Materials, имея на руках сотни ключевых патентов. Основав AMEC в 2004 году, он потребовал от всех сотрудников не приносить никаких зарубежных документов, начиная работу с чистого листа на пустых компьютерах.

За 22 года упорной работы рыночная капитализация AMEC превысила 271,4 млрд юаней. Её установки травления охватывают все технологические узлы от зрелого 65-нм до передового 3-нм процесса и успешно вошли в цепочку поставок TSMC для 5-нм и 3-нм техпроцессов, полностью сломав долгосрочную монополию трёх зарубежных гигантов на рынке установок травления.

Прорыв AMEC в условиях конкуренции с международными гигантами стал возможен благодаря приверженности оригинальным инновациям. Инь Чжияо рассказал, что разработанная компанией технология VHF CCP (очень высокочастотного декаплерного реактивного ионного травления) была полностью скопирована Lam Research, Applied Materials и Tokyo Electron через три года после её внедрения. Сегодня 100% мировых CCP-установок травления используют эту технологию.

Оригинальная конструкция AMEC с двумя платформами позволяет одновременно обрабатывать две кремниевые пластины, экономя более 30% затрат на материалы, при этом производительность превосходит зарубежные аналоги, а цена ниже.

Первым массовым заказчиком AMEC стала SMIC. Чжан Жуцзин отметил: «Тестирование нового оборудования всегда сопряжено с риском, но мы не действуем опрометчиво. Сначала пробуем небольшими партиями: 5, 25, затем 50, 100 пластин. Процесс занимает много времени, и обе стороны несут ответственность.

Например, когда мы используем оборудование AMEC, оно предоставляется нам бесплатно — это инвестиции акционеров AMEC. Но на этапе тестирования затраты на чипы и время ложатся на нас. При хорошем взаимодействии и успехе такие инвестиции абсолютно оправданы.

Если никто не будет использовать отечественную продукцию, как она сможет прогрессировать? Без использования мы не узнаем о недостатках, а без знания недостатков не сможем их исправить. Не стоит, попробовав один раз и увидев неудачу, сразу отказываться».

В декабре 2023 года AMEC вышла на рынок крупнопанельного оборудования, где все 17 видов технологического оборудования ранее полностью импортировались. Всего за 18 месяцев компания завершила разработку оборудования и прошла квалификацию на производственной линии заказчика, что значительно опережает обычный цикл разработки в 3-7 лет.

Инь Чжияо подчеркнул, что AMEC всегда отказывается от простого копирования технологий, и настоящие независимые инновации являются основой для выживания китайской полупроводниковой промышленности.