Прорыв в производстве чипов: в Китае решили проблему с фоторезистом для литографии

Китайская промышленность сделала важный шаг к независимости в производстве чипов. Совместная исследовательская группа под руководством Шанхайской лаборатории искусственного интеллекта (Shanghai AI Laboratory) успешно решила сложную задачу стабильного синтеза фоторезиста — ключевого материала для производства микросхем.

Фоторезист является одним из важнейших компонентов в процессе изготовления чипов. Чистота и однородность этого материала напрямую влияют на конечную производительность и процент выхода годных изделий. Долгое время эта область была «узким местом» для китайской полупроводниковой цепочки поставок, создавая зависимость от зарубежных технологий.

Прорыв был достигнут в рамках государственной программы «2030 —新一代人工智能» (Новое поколение искусственного интеллекта). Исследователи из Шанхайской лаборатории ИИ, Сямэньского университета (Xiamen University) и Сучжоуской национальной лаборатории (Suzhou National Laboratory) создали замкнутую систему разработки, объединяющую принятие решений на основе ИИ и автоматизированный синтез.

Благодаря использованию научной модели «书生» (Shusheng) и платформы «书生科学发现» (Shusheng Scientific Discovery), команде удалось полностью самостоятельно создать высокочистую, однородную и эффективную смолу для KrF-фоторезиста. Это достижение устраняет зависимость от «черного ящика» технологий нескольких зарубежных поставщиков, которые ранее доминировали в этой сфере.

Новая платформа уже прошла несколько раундов автоматизированного синтеза и проверки характеристик. Отмечается, что согласованность продукции между разными партиями была значительно улучшена. Компания Xiamen Hengkun New Materials Technology Co., Ltd. (厦门恒坤新材料科技股份有限公司), используя свой многолетний опыт в разработке рецептур фоторезистов, успешно адаптировала собственную смолу для конечных применений. Все ключевые промышленные показатели достигли запланированных целей. В ближайшее время продукция поступит на этап практической валидации у клиентов — производителей чипов.