Applied Materials представила три новых системы для эпохи ангстремов в производстве чипов

Компания Applied Materials представила три новых инструмента для производства чипов, которые определяют то, что компания называет «эрой ангстремов» в чипмейкинге, что знаменует переход к технологическим процессам, контролируемым на уровне отдельных атомов. Новые системы — Kinex, Xtera и PROVision 10 — предназначены для обеспечения методов изготовления следующего поколения, одновременно повышая эффективность и выход годных продуктов для современных производственных узлов логических и полупроводников памяти, а также технологий упаковки.

«По мере того как чипы становятся более сложными, Applied Materials сосредоточена на прорывах в области инженерии материалов, чтобы обеспечить улучшения производительности и энергоэффективности, необходимые для масштабирования ИИ», — заявил доктор Прабу Раджа, президент Группы полупроводниковой продукции Applied Materials. — «Мы сотрудничаем с нашими клиентами раньше и глубже, чтобы совместно разрабатывать решения, которые ускоряют дорожные карты производителей чипов и обеспечивают основные изменения в логике, памяти и передовой упаковке».

Applied Materials представила три взаимодополняющие системы для производства чипов класса 2 нм:

Kinex

Первая из новых систем, Kinex, разработанная совместно с BE Semiconductor Industries, является первым в мире полностью интегрированным инструментом гибридного соединения «кристалл-пластина», который объединяет размещение кристаллов, формирование межсоединений и склеивание внутри одной машины. Прямые медно-медные соединения между чиплетами снижают энергопотребление и повышают производительность, что делает инструмент особенно актуальным для современных и будущих многокристальных решений с 3D-интеграцией и, возможно, памятью HBM4 на борту.

Applied Materials подчеркнула, что объединение всех критических этапов склеивания в одной среде снижает загрязнение и сокращает время ожидания, что, в свою очередь, укорачивает производственный цикл, который особенно длителен для технологических процессов класса 3 нм и 2 нм. Система также включает встроенную метрологию для контроля наложения в реальном времени и коррекции дрейфа, что потенциально может повысить выход годной продукции. Как это обычно бывает с новыми инструментами Applied Materials, несколько крупных клиентов, включая компании по производству логики, памяти и OSAT, уже используют Kinex для крупносерийного производства передовых упаковок, согласно данным компании.

Centura Xtera

Второй продукт — Centura Xtera — это платформа эпитаксиального осаждения, которая создает беспримесные истоко-стоковые структуры для транзисторов с кольцевым затвором (GAA). Инструмент интегрирует модули предварительной очистки и травления для непрерывной корректировки геометрии траншеи по мере роста материала, чтобы создавать более однородные слои по всей пластине, что особенно важно уже для узлов класса 2 нм и станет еще более важным в «эпоху ангстремов».

По словам компании, система Xtera обеспечивает 40-процентное улучшение однородности от ячейки к ячейке, одновременно сокращая потребление газа вдвое по сравнению со старыми эпитаксиальными методами, что имеет решающее значение для достижения целевых показателей скорости и эффективности без ущерба для надежности.

PROVision 10

Третья система — PROVision 10 — это платформенная метрология нового поколения на основе электронного пучка, предназначенная для 3D-логики, HBM и передовых структур 3D NAND. В ней используется холодный автоэмиссионный источник электронов, который увеличивает разрешение изображения на 50% и ускоряет скорость сканирования до 10 раз по сравнению со стандартными термическими системами. Машина может генерировать субнанометровые изображения скрытых слоев, обеспечивая точное измерение толщины нанолистов, точности наложения и образования пустот.

Вопрос с Китаем

Примечательно, что Applied Materials специально отметила, что ее новейшие продукты не будут доступны китайским производителям чипов из-за американских ограничений, которые запрещают экспорт инструментов для технологических процессов класса 14 нм и новее в Китай. Компания оценила, что эти экспортные ограничения сократят выручку за фискальный 2026 год примерно на 600 миллионов долларов (~48 млрд рублей), но она ничего не может с этим поделать.

Эра ангстремов в производстве чипов — это следующий этап миниатюризации, где контроль над структурами осуществляется на атомарном уровне. Один ангстрем равен одной десятимиллиардной части метра (0,1 нанометра). Переход к таким масштабам открывает новые возможности для создания более мощных и энергоэффективных процессоров, необходимых для развития искусственного интеллекта и высокопроизводительных вычислений.